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| 分辨率 | 高 |
| 重量 | 5000g |
| 品牌 | 霍爾德電子 |
| 貨號 | HD-FT50UV |
| 電源電壓 | 220V±20V50HzAC/ |
| 型號 | HD-FT50UV |
| 測量范圍 | 20nm~50μm |
| 規(guī)格 | 臺 |
| 加工定制 | 否 |
| 外形尺寸 | 見詳情 |
| 測量精度 | 0.05nm |
光學(xué)膜厚儀是一款精準又好用的薄膜厚度測量設(shè)備。它能測低至20納米的超薄薄膜，測量誤差小于1納米，每秒可測100次，重復(fù)測量精度高達0.05納米。它采用雙光源組合，覆蓋紫外到紅外全光譜，抗干擾能力強，在振動或復(fù)雜環(huán)境下也能穩(wěn)定工作。
光學(xué)膜厚儀技術(shù)參數(shù)
| 型號 | HD-FT50UV | HD-FT50NIR |
| 建議工作距離 | 非聚焦光束，安裝距離5至10mm | 安裝側(cè)面出光附加鏡時：34.5mm±2mm； 軸向出光時：55mm±2mm； |
| 測量角度 | ±10° | ±5° |
| 光斑類型 | 彌散光斑；在10mm安裝距離時，光斑直徑約為4mm； | 聚焦光斑；約200μm |
| 探頭外徑*長度 | Φ6.35*3200mm3 | Φ20*73mm |
| 探頭重量 | 190g | 108g（探頭）、49g（附加鏡） |
| 光源類型 | 氘鹵光源 | 鹵素光源 |
| 波長范圍 | 190-1100nm | 400-1100nm；1000-1700nm |
| 測厚范圍 | 約20nm~50μm（折射率1.5時） | 約50nm~50μm（折射率1.5時） |
| 適配探頭 | UV-VIS | VIS-NIR軸向； VIS-NIR徑向；（標配其一） |
| 可連探頭數(shù)量 | 1 | |
| 探頭防護等級 | IP40 | |
| 重復(fù)精度 | 0.05nm | |
| 準確度 | <±1nm或±0.3%（取較大值） | |
| 采樣頻率 | Max.100Hz（視求解參數(shù)復(fù)雜度而定） | |
| 測控軟件 | 專用上位機軟件 | |
| 電源電壓 | 220V±20V50HzAC/ | |
| 功率 | 50W | |
| 工作溫度 | -10至+40℃ | |
| 相對濕度 | 20%至85%RH（無冷凝） | |
| 控制器重量 | 約5000g | |
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