等離子凈化設(shè)備又稱低溫等離子廢氣凈化器，在電催化總的設(shè)計(jì)概念下，分三個(gè)即獨(dú)立又混成的激發(fā)系統(tǒng)：微波激發(fā)區(qū)、等離子激發(fā)區(qū)、ji板激發(fā)區(qū)。每個(gè)激發(fā)區(qū)有它特定的功能，但在原理上有它相似的地方。其中，它的凈化作用機(jī)理包含兩個(gè)方面：

　　一、是在產(chǎn)生等離子體的過程中，高頻放電所產(chǎn)生的瞬間高能足夠打開一些有害氣體分子的化學(xué)能，使之分解為單質(zhì)原子或無害分子；

　　二、是等離子體中包含大量的高能電子、正負(fù)離子、激發(fā)態(tài)粒子和具有強(qiáng)氧化性的自由基，這些活性粒子和部分臭氣分子碰撞結(jié)合，在電場作用下，使臭氣分子處于激發(fā)態(tài)。當(dāng)臭氣分子獲得的能量大于其分子鍵能的結(jié)合能時(shí)，臭氣分子的化學(xué)鍵斷裂，直接分解成單質(zhì)原子或由單一原子構(gòu)成得無害氣體分子。同時(shí)產(chǎn)生的大量？OH、？HO2、？O等活性自由基和氧化性較強(qiáng)的O3，與有害氣體分子發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，zui終生成無害產(chǎn)物。

　　等離子凈化設(shè)備是一種干法處理有機(jī)廢氣的凈化設(shè)備。它改變了使用活性碳材料的工藝技術(shù),無需再生處理原料,無需專人負(fù)責(zé),不產(chǎn)生二次污染,更換及維護(hù)保養(yǎng)方便。